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1．机械技术
仪器各部分的安装固定，仪器测量精度、定位精度和运动精度的保证，由精密机械系统来实现和完成。精密仪器的测量控制对象也通常为机械结构的运动量。
2．电子技术
实现信号的转换、传输、放大。研究对象包括：
①测量电路：实现信号的转换。
②计算机控制：包括信号处理分析，以及在此基础上的自动控制（发出控制指令）。
③伺服驱动：电子与机械部分的接口，按控制指令的要求控制被控对象实现预定的动作。
3．光学技术
利用各种光学原理，实现对被测量的转换、放大、投影、显示、传输等。传统的光学系统是与机械技术相结合实现其功能的，现代的光学系统又结合了电子技术，实现光学信息的处理和控制。
光、机、电技术相结合进一步扩大了现代精密仪器的应用领域。
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