精密仪器是指用以产生、测量精密量的设备和装置，包括对精密量的观察、监视、测定、验证、记录、传输、变换、显示、分析处理与控制。精密仪器是仪器仪表的一个重要分支。

按照测量对象的不同，精密仪器可以划分为以下几类：

①几何量精密仪器

主要包括检测各种几何量的精密仪器，如立式测角仪、激光干涉比长仪、经纬仪、三坐标测量机、圆度仪、轮廓仪和扫描隧道显微镜等测量仪器。

②热工量精密仪器

主要包括温度、湿度、压力、流量检测精密仪器，如各种气压计、真空计、多波长测温仪表、流量计和高度表等。

③机械量精密仪器

主要包括各种测力仪器、应变仪、加速度与速度测量仪、转矩测量仪、振动测量仪、万能材料实验机和布氏硬度计等。

④时间频率精密仪器

主要包括各种计时仪器与仪表、原子钟、时间频率测量仪等。

⑤电磁精密仪器

主要用于测量各种电量和磁量，如电流表、电压表、功率表、电阻测量仪、电容测量仪、静电仪和磁参数测量仪等。

⑥无线电精密仪器

主要包括示波器、信号发生器、相位测量仪、频谱分析仪和动态信号分析仪等。

⑦光学与声学精密仪器

主要包括光谱仪、光度计、色度计、激光参数测量仪、光学传递函数测量仪、噪声测量仪和声呐测量仪等。

⑧电离辐射精密仪器

主要包括各种放射性、核素计量、X和λ等射线计量仪器等。